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簡(jiǎn)要描述：Accurion EP4 橢偏顯微鏡用途：多層薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（n、k值）測(cè)量
產(chǎn)品型號(hào)：EP4廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2026-01-15訪 問(wèn) 量：209產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | Park | 價(jià)格區(qū)間 | 80萬(wàn)-100萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合 |
Accurion EP4 橢偏顯微鏡
用途：多層薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（n、k值）測(cè)量
橫向分辨率（x/y方向）小至1微米，薄膜厚度測(cè)量精度0.1納米。
選區(qū)測(cè)量功能：實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)試樣和微小試樣的選區(qū)橢偏測(cè)量
全顯微鏡視場(chǎng)直接成像，取代傳統(tǒng)單點(diǎn)測(cè)量
光斑切割技術(shù)，真正實(shí)現(xiàn)超薄透明；基底上薄膜的無(wú)背底反射橢偏測(cè)量
多種技術(shù)聯(lián)用，如：原子力顯微鏡（AFM），
表面等離子共振(SPR)，反射光譜(RefSpec)，
拉曼光譜儀(RamanSpec)，石英晶體微天平（QCM)，
白光干涉儀（WLI）和LB槽/膜天平等
Accurion EP4 橢偏顯微鏡
Accurion EP4 橢偏顯微鏡
用途：多層薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（n、k值）測(cè)量
橫向分辨率（x/y方向）小至1微米，薄膜厚度測(cè)量精度0.1納米。
選區(qū)測(cè)量功能：實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)試樣和微小試樣的選區(qū)橢偏測(cè)量
全顯微鏡視場(chǎng)直接成像，取代傳統(tǒng)單點(diǎn)測(cè)量
光斑切割技術(shù)，真正實(shí)現(xiàn)超薄透明；基底上薄膜的無(wú)背底反射橢偏測(cè)量
多種技術(shù)聯(lián)用，如：原子力顯微鏡（AFM），
表面等離子共振(SPR)，反射光譜(RefSpec)，
拉曼光譜儀(RamanSpec)，石英晶體微天平（QCM)，
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